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M3030V linetech質(zhì)量流量控制器

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  • 公司名稱 北京漢默科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地 北京市
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2017/8/22 15:13:39
  • 訪問次數(shù) 512

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一、linetech氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 測量質(zhì)量流量
  • 無需溫度和壓力補(bǔ)償
  • 結(jié)構(gòu)緊湊
  • 精度高
  • 工作壓力高
  • 響應(yīng)時(shí)間快
  • 重復(fù)性高

二、linetech氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

質(zhì)量流量計(jì)

質(zhì)量流量控制器

流量范圍(N2)

  10SCCM~1000SLPM

  10SCCM ~ 300slpm

  響應(yīng)時(shí)間

  <2 sec

  <2 sec

精準(zhǔn)度

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

  重復(fù)精度

  ±0.25% FS

  ±0.25% FS

  輸入/輸出信號(hào)

0~5 Vdc OR 4~20 mA

  0~5 Vdc OR 4~20 mA

供電電源

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

 耐壓

  <90bar

  0-30SLPM,<90bar;30-100SLPM,<70bar,

100-300SLPM,<15bar

工作環(huán)境溫度

  0~50 °C

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

使用范圍

  2 ~ *

  2~ *

 

三、linetech氣體質(zhì)量流量控制器接口尺寸


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