公稱通徑

20

25

32

40

50

65

80

100

125

150

200

額定流量系數KV

套筒

11

20

30

48

75

120

190

300

480

760

單座

7

11

20

30

48

75

120

190

300

480

760

三通

額定行程（mm）

8

12

20

25

40

50

氣缸直徑（mm）（活塞切斷閥）

     100

125

160

250

允許泄漏量

硬密封（1/h）

套筒5X10-5X閥額定容量   單座、三通1。2X10-7X閥的額定容易

軟密封（ml/min）

                              無

工作溫度

             -20~+200    -40~+450

膜片有面積（）（薄膜式切斷閥）

100

200

400

600

1000

公稱壓力PN（MPa）

允許壓差（MPa）

ZMQP  ZMQN

6．4

3．8

2．5

2．9

1．8

2．0

1．3

0．83

0．8

0．55

0．52

ZSQP ZSQN

6．1

3．5

2．3

3．0

1．9

1．9

1．5

0．93

0．65

0．84

0．47

ZMQM  ZSQN

                             6．4

信號壓力（KPa）

200（薄膜式）   400~600（活塞式）