真空閥門的概述
真空技術(shù)在我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)中已近獲得廣泛的應(yīng)用，無(wú)論是重工業(yè)還是輕工業(yè)，科學(xué)還是一些普通工業(yè)部門都離不開(kāi)它。因此，作為真空技術(shù)執(zhí)行元件的真空閥門也得到了相應(yīng)的發(fā)展。
“真空”是指在空間內(nèi)低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)，也就是該空間內(nèi)氣體分子數(shù)密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子數(shù)密度。不同的真空狀態(tài)，就意昧著該空間具有不同的分子數(shù)密度。在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) （STP:即0℃，10135Pa)下，氣體的分子數(shù)密度為 2.6870X1025m-3，而在真空度為lXl0-4Pa時(shí)，氣體的分子數(shù)密度只有2. 65X l016m-3。
真空度及測(cè)量單位 ：在真空技術(shù)中常用真空度來(lái)度量真空狀態(tài)下空間氣體的稀薄程度。通常真空度用氣體的壓力值來(lái)表示。壓力值越高，真空度越低；壓力值越低，真空度越高。
真空區(qū)域的劃分：為使用上便利起見(jiàn)，人們常把真空度粗劃為幾個(gè)區(qū)段，按照GB/T 3163—2007，真空區(qū)域大致劃分如下：
| 低真空 105?102Pa
中真空102?lO-1Pa
高真空10-1?10 -5Pa
超高真空<l0-5Pa
真空閥門的特性：主要是指真空閥門外殼對(duì)大氣的真空密封性，衡量真空密封性的性能主要有兩個(gè)技術(shù)指標(biāo)，即真空閥門的流導(dǎo)和真空閥門的閥座漏氣率（簡(jiǎn)稱漏率)。
①真空閥門的流導(dǎo)在閥門打開(kāi)狀態(tài)下的氣體流動(dòng)的流導(dǎo)。需要指出的是，在樣本中，真空閥門的流導(dǎo)通常以“當(dāng)量管長(zhǎng)度”列出，這里設(shè)管的公稱尺寸與閥門的公稱尺寸相同。
②真空閥門的閥座漏氣率在關(guān)閉狀態(tài)下由閥座漏入的氣體流率。它取決于氣體種類、壓力、溫度和閥門進(jìn)、出口的壓差。
真空閥門的定義和作用：真空閥門是在真空系統(tǒng)中用來(lái)隔離（切斷）氣 流、調(diào)節(jié)氣流流量、分配氣流的真空元件。種類繁多的真空裝置（亦稱真空工程設(shè)備）都離不開(kāi)真空系統(tǒng)。真空閥門不論在簡(jiǎn)單或復(fù)雜的真空系統(tǒng)中都占有重要的地位。通常在真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，要根據(jù)真空裝置的要求和真空系統(tǒng)的特點(diǎn)來(lái)選擇不同類型的真空閥門。例如，真空放氣閥，是用來(lái)給真空系統(tǒng)放入大氣用的。真空裝置完成真空作業(yè)后，若要更換工件或取出樣品，必須將大氣放入真空室，使真空室大門兩側(cè)沒(méi)有壓差，才能打開(kāi)大門進(jìn)行工件更換。而針閥是向真空系統(tǒng)中充氣，并能調(diào)節(jié)氣體流量的真空閥門。它常用于真空泵抽速測(cè)量、真空鍍膜、離子束刻蝕、受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置等真空系統(tǒng)上，提供調(diào)節(jié)的氣體流量，用以獲得穩(wěn)定的工藝要求的真空度：高真空擋板閥、高真空插板閥，常用于主抽氣泵的進(jìn)氣口上， 用來(lái)隔離真空泵，使之不暴露于大氣之中。高真空蝶閥可裝于真空室，真空管道與真空泵之間，用以接通和隔離（截止）氣流。閥門設(shè)計(jì)不應(yīng)當(dāng)漏氣、發(fā)生機(jī)械、電氣故障等。
需要糾正一下國(guó)內(nèi)電站閥門存在的錯(cuò)誤叫法，在電站閥門中，通常將填料部分帶水封裝置的閥門前面冠以“真空”，如真空閘閥、真空截止閥等。而事實(shí)上，這些閥門的介質(zhì)壓力都很髙，有的閥門壓力高達(dá) l0MPa,這是一種錯(cuò)誤的叫法，應(yīng)當(dāng)予以糾正。
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