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考慮全面的高效設計，使得Cryo-Plex 10低溫泵可以實現兩倍于8寸低溫泵的抽速，是理想的潔凈、無油高真空排氣方案。 標準應用：半導體、空間環境模擬、真空鍍膜以及各種研發領域配置靈活支持ANSI、ISO、CF等多種法蘭接口用一臺M600氦氣壓縮機可以同時驅動單臺或者兩臺Cryo-Plex10 低溫泵，從而節省空間、電能和維護工作。對于需要多臺低溫泵的大型真空室，是非常理想的選擇。標準設計Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低溫泵、壓縮機可以與Helix品牌的CryoTorr系列低溫泵、壓縮機相互兼容和替換，從而大大方便使升級、維修、交換等服務。 參數 Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/secondAir3,000Water9,000Hydrogen5,000Argon2,500Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 TorrHydrogen24Argon2,000ThroughputArgon sccm1,500CrossoverTorr-liters300Cool down time60 Hertz60 MinCryopump measurementsHeight23.9"Weight LBS85Inlet flangeANSI/ISO/CF |
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